中新網(wǎng)沈陽(yáng)4月30日電 (記者 趙桂華)中科芯微半導(dǎo)體機(jī)器人研發(fā)生產(chǎn)基地項(xiàng)目，4月30日在沈陽(yáng)中德園啟動(dòng)建設(shè)，將打造國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的集研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售為一體的半導(dǎo)體機(jī)器人研發(fā)生產(chǎn)基地，致力于半導(dǎo)體專(zhuān)業(yè)設(shè)備領(lǐng)域的國(guó)產(chǎn)替代研發(fā)，填補(bǔ)國(guó)產(chǎn)替代市場(chǎng)的空白。

　　據(jù)了解，上述項(xiàng)目的投資方中科芯微智能裝備(沈陽(yáng))有限公司，是位于沈陽(yáng)中德園的一家高新技術(shù)企業(yè)，主要專(zhuān)注于半導(dǎo)體制造核心裝備的自主研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化，構(gòu)建了覆蓋芯片制造前道工藝全制程的設(shè)備體系，年均推出5-10項(xiàng)創(chuàng)新產(chǎn)品，累計(jì)完成十余項(xiàng)重大科技攻關(guān)項(xiàng)目，成功開(kāi)發(fā)出20余種高精度半導(dǎo)體潔凈機(jī)器人系列產(chǎn)品。突破了相關(guān)技術(shù)壁壘，在精密傳動(dòng)系統(tǒng)、真空環(huán)境兼容性、納米級(jí)定位精度等關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域取得重大進(jìn)展。

　　該項(xiàng)目計(jì)劃總投資5億元，占地面積6.9萬(wàn)平方米，規(guī)劃建筑面積約8.3萬(wàn)平方米。建設(shè)數(shù)字化智能制造生產(chǎn)廠房、半導(dǎo)體核心設(shè)備實(shí)驗(yàn)室、研發(fā)綜合樓等，購(gòu)置自動(dòng)化產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備、試驗(yàn)設(shè)備、標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)設(shè)備。項(xiàng)目竣工投產(chǎn)后可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)半導(dǎo)體機(jī)器人1000臺(tái)套，預(yù)計(jì)新增產(chǎn)值10億元，稅收5000萬(wàn)元，新增就業(yè)500余人。

　　項(xiàng)目所在的沈陽(yáng)市鐵西區(qū)相關(guān)負(fù)責(zé)人告訴記者，該區(qū)將立足自身產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)和發(fā)展定位，全力構(gòu)建“四突破兩升級(jí)”的鐵西新材料及集成電路產(chǎn)業(yè)體系，通過(guò)提質(zhì)升級(jí)先進(jìn)金屬、化工、無(wú)機(jī)非金屬材料產(chǎn)業(yè)鏈條；培育壯大超高純凈石英半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)規(guī)模，全力支持中科芯微申報(bào)潛在獨(dú)角獸企業(yè)；改造提升石油化工材料、冶金建筑材料產(chǎn)業(yè)水平；推動(dòng)傳統(tǒng)制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)、新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展壯大，為區(qū)域經(jīng)濟(jì)發(fā)展蓄勢(shì)賦能。以“強(qiáng)攻二季度，勇奪雙過(guò)半”的拼搏精神，全面加快項(xiàng)目建設(shè)步伐，堅(jiān)決打好打贏三年行動(dòng)決勝之年決勝之戰(zhàn)，展現(xiàn)新時(shí)代新鐵西的更大擔(dān)當(dāng)作為。(完)